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SputteringSe denomina así al proceso de limpieza con el plasma, en el cual los iones excitados del plasma entran en contacto con los átomos de la superficie y la erosionan. Generalmente se utiliza un gas noble (por ejemplo argón). La limpieza por plasma mediante pulverización iónica también se conoce como microarenado. La técnica “Sputtering” se [..]
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Sputtering
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